中国科学技术大学刘宇--中文主页-- Comparisons of the Characteristic on the Mode Transition in an Inductively Coupled Discharge by Exciting Coil Change

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Comparisons of the Characteristic on the Mode Transition in an Inductively Coupled Discharge by Exciting Coil Change

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影响因子：1.309
DOI码：10.1109/TPS.2017.2660496
发表刊物：IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE
通讯作者：刘宇
论文编号：000396397500001
卷号：45
期号：3
页面范围：338-345
ISSN号：0093-3813
是否译文：否
发表时间：2017-02-28
收录刊物：SCI

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