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一种用于等离子体参数诊断的探针装置
发布时间：2021-07-24
点击次数：
- 所属单位：
- 中国科学技术大学
- 发明设计人：
- 刘宇,曹金祥,徐亮,张仲凯,张逍
- 专利说明：
- 实用新型
- 申请号：
- 201820821638.5
- 发明人数：
- 6
- 是否职务专利：
- 否
- 公开日期：
- 2019-01-18
- 授权日期：
- 2019-01-18
- 第一作者：
- 余鹏程
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