刘宇 博士生导师  硕士生导师

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学位:博士

学科: 地球物理学

专利

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谐振腔式ECR等离子体源装置以及方法

发布时间:2021-07-24
点击次数:
所属单位:
中国科学技术大学
发明设计人:
张仲恺,雷久侯,曹金祥
专利说明:
发明公开
申请号:
201910649890.1
发明人数:
4
是否职务专利:
公开日期:
2019-09-13
第一作者:
刘宇