中国科学技术大学刘宇--中文主页-- 谐振腔式ECR等离子体源装置以及方法

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谐振腔式ECR等离子体源装置以及方法

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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：张仲恺,雷久侯,曹金祥
专利说明：发明公开
申请号：201910649890.1
发明人数：4
是否职务专利：否
公开日期：2019-09-13
第一作者：刘宇

上一条：一种等离子体参数的探测装置及探测系统