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教授
- 教师拼音名称:xiaoming
- 电子邮箱:6696d7b297b487e06c75075f38d2bc109fe88ea56c9c8b317d78c03a03e3672f5ac3b5a7291190a50a11af0ef345c09bddba6a845caec137613e88f43addaf299007b8408c7fe634f381574c83691bfb397b2b3b021184943622718b1a7d681b90750e9f2aee67abafca5eb600ab54a2b1edf81c9d1a96e0b80b975332297036
- 学位:博士
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一种用于CVD固态源的挥发装置
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所属单位:中国科学技术大学
发明设计人:杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明:发明
申请号:201710271043.7
发明人数:6
是否职务专利:否
公开日期:2017-06-20
第一作者:郭国平