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    韩正甫

    • 教授 博士生导师 硕士生导师
    • 电子邮箱:
    • 学位:硕士
    • 毕业院校:中国科学技术大学

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    自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统

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    所属单位:中国科学技术大学

    发明设计人:吴晓伟,尉伟,孙方稳,付绍军,韩正甫,郭光灿

    专利说明:发明

    申请号:201110009273.9

    发明人数:7

    是否职务专利:

    公开日期:2012-07-18

    授权日期:2015-09-09

    第一作者:崔金明