曹刚
博士生导师
硕士生导师
教师姓名：曹刚
电子邮箱：
学位：博士
职称：特任教授
毕业院校：中国科学技术大学
所属院系：物理学院
学科：物理学 电子科学与技术
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专利
化学气相沉积设备、方法及用途
发布时间：2021-07-24 点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明：发明
申请号：201711005202.5
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2018-03-20
第一作者：郭国平
