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曹刚

博士生导师
硕士生导师
教师姓名:曹刚
教师拼音名称:caogang
电子邮箱:
学位:博士
职称:特任教授
毕业院校:中国科学技术大学
所属院系:物理学院
学科:物理学    电子科学与技术    
其他联系方式

邮箱:

专利
当前位置: 中文主页 > 科学研究 > 专利
一种用于CVD固态源的挥发装置
发布时间:2021-07-24    点击次数:

所属单位:中国科学技术大学

发明设计人:杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿

专利说明:实用新型

申请号:201720434437.5

发明人数:6

是否职务专利:

公开日期:2018-01-30

授权日期:2018-01-30

第一作者:郭国平