用于制备表面为特定晶面的单晶空间取向调控方法和装置
点击次数:
所属单位:中国科学技术大学
发明设计人:郑勇力,魏杰,廖铃文
专利说明:发明
申请号:201510364164.7
发明人数:4
是否职务专利:否
公开日期:2015-12-09
授权日期:2017-10-03
第一作者:陈艳霞
用于制备表面为特定晶面的单晶空间取向调控方法和装置
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所属单位:中国科学技术大学
发明设计人:郑勇力,魏杰,廖铃文
专利说明:发明
申请号:201510364164.7
发明人数:4
是否职务专利:否
公开日期:2015-12-09
授权日期:2017-10-03
第一作者:陈艳霞