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联系方式：
0551-3607504,3602544
学位：
博士
专利
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专利
锆钛酸铅铁电薄膜的湿法刻蚀方法
所属单位：
中国科学技术大学
发明设计人：
郑可炉,鲁健
专利说明：
发明
申请号：
200310112618.9
发明人数：
3
是否职务专利：
否
公开日期：
2004-11-17
授权日期：
2006-05-24
第一作者：
褚家如
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