- 电子邮箱：3c1fcd13d0d0d25547d1c859e79aadd345029541f492897521a247fbbd73deef5e63b49cbf8d1af1fca9c1ae882eabf2e66a72477fe2bb0d8a27ede245e4f8a2c2e2a1c8cbc003c2b6555eddcf7a86d1858be72f10603f691e07630990447f3c01fc0492a47f3f5e45c8ac7fb01657219055be5e692ff61f9dd5df6172e9df52
- 学位：博士
自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统
- 所属单位：中国科学技术大学
- 发明设计人：吴晓伟,尉伟,孙方稳,付绍军,韩正甫,郭光灿
- 专利说明：发明
- 申请号：201110009273.9
- 发明人数：7
- 是否职务专利：否
- 公开日期：2012-07-18
- 授权日期：2015-09-09
- 第一作者：崔金明
