基于标校线宽数据库与扫描电子显微镜的线宽测量技术

Teaching and Research Group:物理系

Status:进行

Note:国家质量基础的共性技术研究与应用 2019YFF0216400 同济大学 纳米级晶圆光刻标校光栅标准器关键技术研究及计量标准器研制

Classification of Project:国家重点研发计划

Nature of Project:纵向项目

Supported by:国家科技部

Project Number:纵20200013

Date of Project Approval:2019-12-01

Scheduled completion time:2021-11-30

Date of Project Initiation:2019-12-01

Project Approval Number:2019YFF0216404

Subsidy Amount:105.0