丁泽军
教师姓名：丁泽军
电子邮箱：
联系方式：63601857
学位：博士
职称：研究员
所属院系：物理学院
学科：
其他联系方式
暂无内容
科研项目
基于标校线宽数据库与扫描电子显微镜的线宽测量技术
发布时间：2021-07-24 点击次数：
教研室：物理系
项目状态：进行
项目简要备注：国家质量基础的共性技术研究与应用 2019YFF0216400 同济大学 纳米级晶圆光刻标校光栅标准器关键技术研究及计量标准器研制
项目分类：国家重点研发计划
项目性质：纵向项目
项目来源：国家科技部
项目编号：纵20200013
立项时间：2019-12-01
计划完成时间：2021-11-30
开始日期：2019-12-01
项目批准号：2019YFF0216404
资助额度(万元)：105.0
