丁泽军
教师姓名：丁泽军
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联系方式：63601857
学位：博士
职称：研究员
所属院系：物理学院
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论文成果
Monte Carlo Simulation of CD-SEM Images for Linewidth and Critical
Dimension Metrology
发布时间：2021-07-23 点击次数：
影响因子：1.33
DOI码：10.1002/sca.21042
发表刊物：SCANNING
通讯作者：丁泽军
论文编号：000317622000005
卷号：35
期号：2
页面范围：127-139
ISSN号：0161-0457
是否译文：否
收录刊物：SCI
