一种钇掺杂氧化锆单晶衬底的处理方法
点击次数：
所属单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
教研室：二室
申请专利人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明设计人：姚岐,沈大伟, 刘吉山, 李明颖, 刘正太
专利说明：无
备注：无
专利类型：发明
专利状态：专利权的终止
申请号：CN201510258262.2
授权号：CN104882534B
发明人数：5
是否职务专利：是
申请日期：4214-04-01
公开日期：4309-08-01
授权日期：2017-12-29
第一作者：姚岐
一种钇掺杂氧化锆单晶衬底的处理方法
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所属单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
教研室：二室
申请专利人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明设计人：姚岐,沈大伟, 刘吉山, 李明颖, 刘正太
专利说明：无
备注：无
专利类型：发明
专利状态：专利权的终止
申请号：CN201510258262.2
授权号：CN104882534B
发明人数：5
是否职务专利：是
申请日期：4214-04-01
公开日期：4309-08-01
授权日期：2017-12-29
第一作者：姚岐