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    郭光灿

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    化学气相沉积设备、方法及用途

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    所属单位:中国科学技术大学

    发明设计人:杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿

    专利说明:发明

    申请号:201711005202.5

    发明人数:6

    是否职务专利:

    公开日期:2018-03-20

    第一作者:郭国平