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用于临近催化化学气相沉积的装置和方法
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：杨晖,李海欧,曹刚,郭光灿
专利说明：发明
申请号：201711296987.6
发明人数：5
是否职务专利：否
公开日期：2018-05-18
第一作者：郭国平
