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郭国平
郭国平
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专利
一种用于CVD固态源的挥发装置
发布时间:2021-07-24点击次数:
所属单位: 中国科学技术大学
发明设计人: 杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明: 发明
申请号: 201710271043.7
发明人数: 6
是否职务专利:
公开日期: 2017-06-20
第一作者: 郭国平