郭国平
郭国平
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专利
化学气相沉积设备
发布时间：2021-07-24点击次数：
所属单位：
中国科学技术大学
发明设计人：
杨晖,李海欧,曹刚,肖明,郭光灿
专利说明：
实用新型
申请号：
201721380853.8
发明人数：
6
是否职务专利：
否
公开日期：
2018-05-29
授权日期：
2018-05-29
第一作者：
郭国平