个人信息Personal Information
正高级工程师
电子邮箱：
学位：学士
光栅离子束刻蚀的光学在线检测装置及检测方法
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：徐向东,洪义麟,徐德权,付绍军
专利说明：发明
申请号：200710020220.0
发明人数：5
是否职务专利：否
公开日期：2008-09-10
授权日期：2010-02-24
第一作者：刘颖
正高级工程师
电子邮箱：
学位：学士
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：徐向东,洪义麟,徐德权,付绍军
专利说明：发明
申请号：200710020220.0
发明人数：5
是否职务专利：否
公开日期：2008-09-10
授权日期：2010-02-24
第一作者：刘颖