洪义麟

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位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法

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所属单位:中国科学技术大学

发明设计人:付绍军,刘正坤,徐向东,洪义麟

专利说明:发明

申请号:200810021578.X

发明人数:5

是否职务专利:

公开日期:2009-01-07

授权日期:2010-11-24

第一作者:刘颖