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正高级工程师
电子邮箱：
学位：学士
具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：刘颖,徐向东,徐德权,洪义麟,付绍军
专利说明：发明
申请号：200810025255.8
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2008-10-01
授权日期：2011-01-26
第一作者：徐作冬
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学位：学士
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：刘颖,徐向东,徐德权,洪义麟,付绍军
专利说明：发明
申请号：200810025255.8
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2008-10-01
授权日期：2011-01-26
第一作者：徐作冬