洪义麟

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正高级工程师

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学位:学士

专利

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一种用于制作量子线超微细图形的光刻掩模

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所属单位:中国科学技术大学

发明设计人:夏安东,田杨超,洪义麟,阚娅,陶晓明,胡一贯,张新夷

专利说明:实用新型

申请号:95203680.0

发明人数:8

是否职务专利:

公开日期:1997-04-02

授权日期:1997-04-02

第一作者:付绍军