一种周期形貌可调谐的微纳米结构表面大面积制备方法及加工系统
发布时间:2021-07-23 点击次数:次
所属单位:中国科学技术大学
发明设计人:黄文浩,李家文,褚家如
专利说明:发明
申请号:201310563497.3
发明人数:4
是否职务专利:否
公开日期:2014-04-09
授权日期:2015-10-28
第一作者:胡衍雷