谢锦林  (教授)

博士生导师 硕士生导师

电子邮箱：

学历：研究生

办公地点：西区KTX实验室311

学位：博士

毕业院校：中国科学技术大学

学科：物理学
核科学与技术

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一种高电离率氧化物阴极等离子体源及其制备方法

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所属单位：中国科学技术大学

发明设计人：胡广海,金晓丽,袁林,张乔枫,杨尚川

专利说明：发明

申请号：201510066212.4

发明人数：6

是否职务专利：否

公开日期：2015-06-24

第一作者：谢锦林

上一条： 一种大面积高电离率氧化物阴极等离子体源