一种碳化硅单晶薄膜的制备方法
点击次数:
所属单位:中国科学技术大学
发明设计人:黄维,伊艾伦,欧欣,许金时,李传锋
专利说明:发明公开
申请号:201910102753.6
发明人数:6
是否职务专利:否
公开日期:2019-04-19
第一作者:李强
一种碳化硅单晶薄膜的制备方法
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所属单位:中国科学技术大学
发明设计人:黄维,伊艾伦,欧欣,许金时,李传锋
专利说明:发明公开
申请号:201910102753.6
发明人数:6
是否职务专利:否
公开日期:2019-04-19
第一作者:李强