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    李明

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    磁场产生装置、磁控管阴极及溅射装置

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    所属单位:新柯隆株式会社;中国科学技术大学

    发明设计人:林子敬,李明,谢斌,王海千,姜友松,长江亦周

    专利说明:发明

    申请号:201180004548.8

    发明人数:7

    是否职务专利:

    公开日期:2012-10-10

    第一作者:孔为