基于同步辐射光刻的大深宽比微结构滚压印技术研究
发布时间:2021-07-24
点击次数:
- 教研室:
- 精密机械与精密仪器系
- 项目状态:
- 完成
- 项目简要备注:
- 0
- 项目分类:
- 青年基金
- 项目性质:
- 纵向项目
- 项目来源:
- 国家自然科学基金项目
- 立项时间:
- 2009-09-01
- 计划完成时间:
- 2012-12-30
- 结项日期:
- 2012-12-30
- 开始日期:
- 2010-01-01
- 项目批准号:
- 50905173
- 资助额度(万元):
- 20.0
- 上一条:非接触式滚压印技术及其动态压模机理研究
- 下一条:跨尺度多级结构的连续滚压技术研究