李木军

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学位:博士

专利

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基于数字微镜器件无掩膜光刻的旋转式曝光系统及方法

发布时间:2021-07-24
点击次数:
所属单位:
中国科学技术大学
发明设计人:
季超,朱俊杰,邱金峰
专利说明:
发明
申请号:
201711041925.0
发明人数:
4
是否职务专利:
公开日期:
2018-04-13
第一作者:
李木军