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刘刚

教师姓名:刘刚
电子邮箱:
学位:博士
职称:研究员
所属院系:国家同步辐射实验室
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专利
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一种X射线曝光间隙控制方法
发布时间:2021-07-23    点击次数:

所属单位:中国科学技术大学

发明设计人:熊瑛,周杰,张晓波,田扬超

专利说明:发明

申请号:200910241924.X

发明人数:5

是否职务专利:

公开日期:2010-06-09

授权日期:2011-05-04

第一作者:刘刚