中国科学技术大学刘建北--中文主页-- 一种微结构气体探测器的支撑结构及其制备方法

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一种微结构气体探测器的支撑结构及其制备方法

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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：张志永,金梓安,周意,刘建北,邵明
专利说明：发明公开
申请号：201910436979.X
发明人数：6
是否职务专利：否
公开日期：2019-09-06
第一作者：丰建鑫

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