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所属单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

负责人姓名：刘志

项目状态：结题

项目来源单位：国家自然科学基金委员会

项目分类：国家重大科研仪器设备研制专项

项目子类：国家重大科研仪器设备研制专项

项目性质：国家重大科研仪器设备研制专项

项目来源：国家自然科学基金

项目级别：国家级

项目参与人员：曾志男,刘啸嵩,李昂,沈大伟,乔山,邰仁忠,谢晓明,封东来,江绵恒

项目编号：112279021031208

计划完成时间：2017-12-01

开始日期：2013-01-01

项目批准号：11227902

资助额度(万元)：14800.0