KW-4A型台式匀胶机
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KW-4A型匀胶机适用于硅片等材料的表面涂覆。其启动速度快，匀胶转速稳定，能够保证光刻胶等被涂覆薄膜厚度的一致性和均匀性。
Ⅰ档 调速范围：500-2500 RPM 匀胶时间：2-18 s
Ⅱ档 调速范围：1000-8000 RPM 匀胶时间：3-60 s
转速稳定度：±1% , 胶的均匀性：±3% .
真空泵抽气速率 ≥60 L/min
适用于：Φ1-Φ102 mm 硅片及其它材料等基片匀胶.
Ⅰ档 调速范围：500-2500 RPM 匀胶时间：2-18 s
Ⅱ档 调速范围：1000-8000 RPM 匀胶时间：3-60 s
转速稳定度：±1% , 胶的均匀性：±3% .
真空泵抽气速率 ≥60 L/min
适用于：Φ1-Φ102 mm 硅片及其它材料等基片匀胶.