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学位：
博士
科研项目
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科研项目
三维精密微动装置研制
教研室：
合肥微尺度物质科学国家研究中心
项目状态：
进行
项目分类：
预付合同
项目性质：
横向项目
项目来源：
其他课题
项目编号：
KD1008020085
立项时间：
2010-07-16
计划完成时间：
2010-09-30
开始日期：
2010-07-16
资助额度(万元)：
3.6
下一条：
超低温、超高真空STM-MFM-AFM组合显微镜（SMA）研制
