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专利
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无摩擦惯性步进扫描器、同点扫描双探针显微镜
  • 所属单位:中国科学技术大学
  • 专利说明:实用新型
  • 申请号:200720130841.X
  • 发明人数:1
  • 是否职务专利:
  • 公开日期:2009-03-18
  • 授权日期:2009-03-18
  • 第一作者:陆轻铀