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学位：
博士
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低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器
所属单位：
中国科学技术大学
发明设计人：
陆轻铀
专利说明：
发明
申请号：
201310552279.X
发明人数：
2
是否职务专利：
否
公开日期：
2014-03-05
授权日期：
2015-10-28
第一作者：
王琦
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