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学位：
博士
专利
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专利
多区驱动的惯性压电马达装置及扫描探针显微镜和控制法
所属单位：
中国科学技术大学
发明设计人：
陆轻铀
专利说明：
发明
申请号：
201410209747.8
发明人数：
2
是否职务专利：
否
公开日期：
2014-08-13
授权日期：
2016-06-29
第一作者：
周海彪
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