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  • 学位:博士
专利
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一种无损检测高精度元件缺陷的方法
  • 所属单位:中国科学技术大学
  • 发明设计人:张灿,王圣浩,胡仁芳,韩华杰,侯双月,陆亚林
  • 专利说明:发明
  • 申请号:201610035277.7
  • 发明人数:7
  • 是否职务专利:
  • 公开日期:2016-04-13
  • 第一作者:刘刚