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专利
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一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀
  • 所属单位:中国科学技术大学
  • 发明设计人:陈夏敏,文武,李天宇,潘洋
  • 专利说明:实用新型
  • 申请号:201720481124.5
  • 发明人数:5
  • 是否职务专利:
  • 公开日期:2017-12-22
  • 授权日期:2017-12-22
  • 第一作者:杨玖重