光栅是一种由大量等宽、等间距的平行狭缝构成的光学元件，其主要功能是利用光的衍射和干涉原理进行分光，从而实现对光谱的分解和波长的测定。

  衍射光栅制作方法多种多样，包括机械刻划法、全息光刻法、电子束直写等。中科大光栅团队近四十年来一直在研制以全息-离子束刻蚀为主要制作技术的特种衍射光栅元器件，并研制了相关工艺设备。全息-离子束刻蚀技术是一种结合了全息光刻和离子束刻蚀的超精细加工方法，能够快速地将复杂的图形转移到基底上，大大提高了生产效率。该技术结合了机械刻划光栅的高效率和全息光栅的无鬼线、低杂散光、高信噪比的优点，不仅适用于平面光栅，还可以用于凸面或凹面光栅的制造，具有良好的各向异性，不受尺寸与曲面形状的限制，在现代光学和精密制造领域具有重要的地位和广阔的应用前景。

  四十年来，我们突破了高精度衍射光栅研制的关键技术，所研制光栅已应用于同步辐射光束线、激光惯性约束聚变等离子体诊断、高功率激光脉冲压缩、航空及航天栅光谱仪、航空位移传感器、特种显示光波导等领域。