基于电涡流传感器的导电膜厚度测量系统及方法
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：王洪波,李伟,琚斌
专利说明：发明
申请号：201410412326.5
发明人数：4
是否职务专利：否
公开日期：2014-11-19
授权日期：2017-11-28
第一作者：冯志华
博士生导师 硕士生导师
电子邮箱：
学历：博士研究生毕业
办公地点：科大西区力学五楼707C
学位：博士
毕业院校：中国科学技术大学
基于电涡流传感器的导电膜厚度测量系统及方法
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：王洪波,李伟,琚斌
专利说明：发明
申请号：201410412326.5
发明人数：4
是否职务专利：否
公开日期：2014-11-19
授权日期：2017-11-28
第一作者：冯志华