用于管道内壁面的溅射镀膜装置
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：尉伟,张耀锋,范乐,王建平
专利说明：实用新型
申请号：200520073493.8
发明人数：5
是否职务专利：否
公开日期：2007-02-14
授权日期：2007-02-14
第一作者：王勇
电子邮箱：
联系方式：0551-63600551
学位：学士
用于管道内壁面的溅射镀膜装置
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：尉伟,张耀锋,范乐,王建平
专利说明：实用新型
申请号：200520073493.8
发明人数：5
是否职务专利：否
公开日期：2007-02-14
授权日期：2007-02-14
第一作者：王勇