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教研室：精密机械与精密仪器系

项目状态：完成

项目简要备注：项目第一笔到账，需开新卡 父项目：基于高速旋转式的亚波长微纳结构蓝紫光激光刻写装置系统

项目分类：创新仪器研制项目

项目性质：纵向项目

项目来源：主管部门科技项目

立项时间：2011-05-01

计划完成时间：2013-12-31

开始日期：2012-01-01

项目批准号：yz201140

资助额度(万元)：78.8