中国科学技术大学 wangliang--Home-- 一种P型掺杂与非掺杂芯片的刻蚀方法及装置

王亮

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一种P型掺杂与非掺杂芯片的刻蚀方法及装置

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Affilication of Author(s):中国科学技术大学

Disigner of the Invention:秦金

Patent description:发明公开

Application Number:201910316864.7

Number of Inventors:2

Service Invention or Not:no

Publication Date:2019-08-13

First Author:wangliang