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教授
电子邮箱:
学位:博士
超分辨、长焦深的SPP扫描光刻技术研究
点击次数:
教研室:光学与光学工程系
项目状态:进行
项目分类:面上项目
项目性质:纵向项目
项目来源:国家自然科学基金项目
项目编号:纵20170307
立项时间:2017-10-11
计划完成时间:2021-12-31
开始日期:2018-01-01
项目批准号:61775206
资助额度(万元):65.0
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学位:博士
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项目状态:进行
项目分类:面上项目
项目性质:纵向项目
项目来源:国家自然科学基金项目
项目编号:纵20170307
立项时间:2017-10-11
计划完成时间:2021-12-31
开始日期:2018-01-01
项目批准号:61775206
资助额度(万元):65.0