王亮

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In situ UV nano-imprint lithography alignment using high contrast mark

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影响因子:3.669

DOI码:10.1364/OE.23.018518

发表刊物:OPTICS EXPRESS

通讯作者:王亮

论文编号:000361033900084

卷号:23

期号:14

页面范围:18518-18524

ISSN号:1094-4087

是否译文:

发表时间:2015-07-13

收录刊物:SCI