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教授
电子邮箱：
学位：博士
应用于近场扫描光刻的高精度被动对准的柔性台
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：张亮,秦金,谭浩森,许凯
专利说明：发明
申请号：201710495565.5
发明人数：5
是否职务专利：否
公开日期：2017-08-29
授权日期：2018-11-13
第一作者：王亮
教授
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学位：博士
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：张亮,秦金,谭浩森,许凯
专利说明：发明
申请号：201710495565.5
发明人数：5
是否职务专利：否
公开日期：2017-08-29
授权日期：2018-11-13
第一作者：王亮