个人信息Personal Information
教授
电子邮箱：
学位：博士
待光刻基板、光刻模板、近场扫描光刻方法及装置
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：秦金,罗慧雯
专利说明：发明公开
申请号：201910063140.6
发明人数：3
是否职务专利：否
公开日期：2019-04-19
第一作者：王亮
教授
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学位：博士
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：秦金,罗慧雯
专利说明：发明公开
申请号：201910063140.6
发明人数：3
是否职务专利：否
公开日期：2019-04-19
第一作者：王亮