王亮

个人信息Personal Information

教授

教师拼音名称:wangliang

电子邮箱:

学位:博士

专利

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 专利

待光刻基板、光刻模板、近场扫描光刻方法及装置

点击次数:

所属单位:中国科学技术大学

发明设计人:秦金,罗慧雯

专利说明:发明公开

申请号:201910063140.6

发明人数:3

是否职务专利:

公开日期:2019-04-19

第一作者:王亮