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教授
电子邮箱：
学位：博士
一种P型掺杂与非掺杂芯片的刻蚀方法及装置
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：秦金
专利说明：发明公开
申请号：201910316864.7
发明人数：2
是否职务专利：否
公开日期：2019-08-13
第一作者：王亮
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学位：博士
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所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：秦金
专利说明：发明公开
申请号：201910316864.7
发明人数：2
是否职务专利：否
公开日期：2019-08-13
第一作者：王亮