王亮

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教师拼音名称:wangliang

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学位:博士

专利

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一种P型掺杂与非掺杂芯片的刻蚀方法及装置

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所属单位:中国科学技术大学

发明设计人:秦金

专利说明:发明公开

申请号:201910316864.7

发明人数:2

是否职务专利:

公开日期:2019-08-13

第一作者:王亮