一种基于导模干涉的超分辨直写光刻机
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：张斗国,陈漪恺,傅强,王沛,明海
专利说明：实用新型
是否职务专利：否
公开日期：2012-05-23
授权日期：2012-05-23
第一作者：王向贤
电子邮箱：
学位：博士
一种基于导模干涉的超分辨直写光刻机
点击次数：
所属单位：中国科学技术大学
发明设计人：张斗国,陈漪恺,傅强,王沛,明海
专利说明：实用新型
是否职务专利：否
公开日期：2012-05-23
授权日期：2012-05-23
第一作者：王向贤