中国科学技术大学王沛--中文主页-- 一种基于导模干涉的超分辨直写光刻机

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一种基于导模干涉的超分辨直写光刻机

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所属单位：中国科学技术大学

发明设计人：张斗国,陈漪恺,傅强,王沛,明海

专利说明：实用新型

申请号：201120355625.1

发明人数：6

是否职务专利：否

公开日期：2012-05-23

授权日期：2012-05-23

第一作者：王向贤

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王沛 (教授)