王沛  (教授)

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学位:博士

   
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一种基于导模干涉的偶氮苯聚合物表面起伏光栅光刻机

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所属单位:中国科学技术大学

发明设计人:张斗国,朱良富,陈漪恺,胡继刚,王沛,明海

专利说明:实用新型

申请号:201320018016.6

发明人数:7

是否职务专利:

公开日期:2013-08-21

授权日期:2013-08-21

第一作者:王向贤

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